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Codierscheiben für Automobil-Anwendung:
TRW elektrische Servolenkung EPS siehe
www.trw.com EPS product information
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Hochauflösende Drehgeber-Anwendung:
Bis zu 2'000 Stege mit ca.50 µm Stegbreite (Ein menschliches Haar ist ca. 70 µm dick
Mehrlagige Strukturen sind realisierbar
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